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heidenhain海德漢光柵尺LIP 571精度1 µm LIP 571，LIP 581 超高精度增量式直線光柵尺 ? 測量步距1 µm至0.01 µm ? 測量基準(zhǔn)用固定架固定

heidenhain海德漢光柵尺LIP 481精度0.005µm LIP 471，LIP 481 超高精度增量式直線光柵尺 ? 用于有限安裝空間應(yīng)用 ? 測量步距1 µm至0.005 µm ? 測量基準(zhǔn)用固定架固定 ? 高真空或超高真空版（參見產(chǎn)品信息樣本）

heidenhain海德漢光柵尺LIP 201精度0.001µm LIP 211，LIP 281，LIP 291 增量式直線光柵尺，精度高和重復(fù)精度高 ? 測量步距可達(dá)0.001 µm（1 nm）或更小 ? 用于高運動速度和大測量長度 ? 測量基準(zhǔn)用固定架固定 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成

heidenhain海德漢光柵尺LIP 382精度0.001µm LIP 372，LIP 382 超高精度增量式直線光柵尺 ? 測量步距達(dá)0.001 µm（1 nm） ? 測量基準(zhǔn)用螺栓固定

heidenhain海德漢光柵尺LIC 2109精度0.05µm LIC 2119，LIC 2199 式直線光柵尺，大測量長度3 m ? 測量步距0.1 µm或0.05 µm ? 鋼光柵尺帶嵌入在安裝面中 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成

海德漢光柵尺LIC2107精度0.1 µm~0.05 µm LIC 2117，LIC 2197 式直線光柵尺，大測量長度3 m ? 測量步距0.1 µm或0.05 µm ? 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并中間固定 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成