增量式光柵尺

 超高精度

LIP敞開式直線光柵尺的測(cè)量步距非常小、 精度和重復(fù)精度非常高。它采用干涉掃描 法并采用DIADUR相位光柵作為測(cè)量基準(zhǔn) （LIP 281：OPTODUR相位光柵）。

高精度

LIF敞開式直線光柵尺的測(cè)量基準(zhǔn)是 SUPRADUR玻璃基體光柵，用干涉掃描方 法。特點(diǎn)是高精度和高重復(fù)精度，以及安 裝特別簡(jiǎn)單，提供限位開關(guān)和回零軌。特 殊型號(hào)的LIF 481 V可用于10–7 mbar的高真 空應(yīng)用（參見其單獨(dú)“產(chǎn)品信息”）。

高運(yùn)動(dòng)速度

LIDA敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于高速運(yùn) 動(dòng)，高速度達(dá)10 m/s。其安裝非常簡(jiǎn)單 而且支持多種安裝方式。根據(jù)相應(yīng)光柵尺 型號(hào)，METALLUR光柵的基體可為鋼帶、 玻璃或玻璃陶瓷。也帶限位開關(guān)。

二維光柵尺

PP二維光柵尺的測(cè)量基準(zhǔn)是一個(gè)平面 DIADUR相位光柵，采用干涉掃描法。 用于測(cè)量平面中位置。

真空應(yīng)用的光柵尺

我們的標(biāo)準(zhǔn)光柵尺適用于一般或中等真空 應(yīng)用。高真空或超高真空應(yīng)用的光柵尺需 要滿足一些特殊要求。其設(shè)計(jì)和材質(zhì)必須 滿足應(yīng)用要求。更多信息，參見真空中應(yīng) 用的直線光柵尺技術(shù)信息。

以下敞開式直線光柵尺于高真空或超 高真空應(yīng)用環(huán)境。

• 高真空：LIP 481V和LIF 481V

• 超高真空：LIP 481U 更多信息，參見相應(yīng)產(chǎn)品信息。

heidenhain海德漢光柵尺LIP 571精度1 µm 

LIP 571，LIP 581 超高精度增量式直線光柵尺

• 測(cè)量步距1 µm至0.01 µm

• 測(cè)量基準(zhǔn)用固定架固定

如有需要詳情，請(qǐng)見：heidenhain海德漢光柵尺LIP 571精度1 µm?