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當(dāng)前位置：首頁 / 產(chǎn)品中心 / 德國 海德漢HEIDENHAIN / 直線光柵尺 / LIDA 473/LIDA 483/LIDA403heidenhain海德漢光柵尺LIDA403精度0.01 µm
產(chǎn)品簡介
heidenhain海德漢光柵尺LIDA403精度0.01 µmLIDA 473，LIDA 483帶限位開關(guān)的增量式直線光柵尺? 測量步距1 µm至0.01 µm? 玻璃或玻璃陶瓷測量基準(zhǔn)? 玻璃光柵尺，背膠固定? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成
產(chǎn)品分類
技術(shù)文章
2024-11-262024-10-262024-09-262024-08-28| 品牌 | HEIDENHAIN/德國海德漢 |
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電子細(xì)分與判向法
光柵測量位移的實質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對位稱量進(jìn)行測量。高分辨率的光柵尺一般造價較貴，且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率，需要對莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分，光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產(chǎn)生莫爾條紋，隨著光柵的移動，莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉(zhuǎn)換為對莫爾條紋個數(shù)的測量。
在一個莫爾條紋寬度內(nèi)，按照一定間隔放置4個光電器件就能實現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如，柵線為50線對/mm的光柵尺，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計數(shù)脈沖，這在工業(yè)普通測控中已達(dá)到了很高精度。由于位移是一個矢量，即要檢測其大小，又要檢測其方向，因此至少需要兩路相位不同的光電信號。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波，通常采用由低漂移運放構(gòu)成的差分放大器。由4個光敏器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號其相位差為π/2，為得到判向和計數(shù)脈沖，需對這兩路信號進(jìn)行整形，首先把它們整形為占空比為1：1的方波。然后，通過對方波的相位進(jìn)行判別比較，就可以等到光柵尺的移動方向。通過對方波脈沖進(jìn)行計數(shù)，可以得到光柵尺的位移和速度 。
1、 xian進(jìn)可靠的光學(xué)測量系統(tǒng)，采用可靠耐用的高精度五軸承系統(tǒng)設(shè)計，保證光學(xué)機械系統(tǒng)的穩(wěn)定性，優(yōu)異的重復(fù)定位性和高等級測量精度。
2、 傳感器采用密封式結(jié)構(gòu)，性能可靠，安裝方便。
3、 采用特殊的耐油、耐蝕、高彈性及抗老化塑膠防水，防塵優(yōu)異，使用壽命長。 4、 具體高水平的抗干擾能力，穩(wěn)定可靠。
5、 光源采用紅外發(fā)光二極管，體積小壽命長。
6、 采用*的光柵制作技術(shù)，能制作各規(guī)格的高精度光柵玻璃尺(長可做到3000mm)。
heidenhain海德漢光柵尺LIDA403精度0.01 µm
LIDA 473，LIDA 483
帶限位開關(guān)的增量式直線光柵尺
• 測量步距1 µm至0.01 µm
• 玻璃或玻璃陶瓷測量基準(zhǔn)
• 玻璃光柵尺，背膠固定
• 由光柵尺和讀數(shù)頭組成
高速運動和大測量長度
LIDA敞開式直線光柵尺特別適合運動速度達(dá)10 m/s的高速運動應(yīng)用，支持多種安裝方式，安裝特別簡單。根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用要求，METALLUR光柵的基體可為鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷。也有限位開關(guān)。
線性比例尺 | LIDA 403 | |||||
測量標(biāo)準(zhǔn) 線膨脹系數(shù)* | 玻璃陶瓷或玻璃上的金屬薄膜光柵；光柵周期20微米 αtherm？8·10–6 K–1（玻璃） αtherm=（0±0.5）·10–6 K–1（Robax玻璃陶瓷） | |||||
精度等級* | ±1微米（僅適用于Robax玻璃陶瓷），±3微米，±5微米 | |||||
基線誤差 | ≤±0.275微米/10毫米 | |||||
測量長度ml*in mm | 240 340 440 640 840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440 2640, 2840, 3040 (ROBAX glass ceramic with up to ML 1640) | |||||
參考標(biāo)記* | Lida 4x3：測量長度中點處一個；Lida 4x3 C：距離編碼 | |||||
質(zhì)量 | 3 g + 0.1 g/mm 測量長度 |
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掃描頭 | LIDA 48 | LIDA 47 | ||||
界面 | 1 VPP | ? TTL | ||||
積分插值* 信號周期 | – 20 µm | 5-fold 4 µm | 10-fold 2 µm | 50-fold 0.4 µm | 100-fold 0.2 µm | |
截止頻率–3 dB | ≥ 400 kHz | – | ||||
掃描頻率* | – | ≤ 400 kHz ≤ 200 kHz ≤ 100 kHz ≤ 50 kHz | ≤ 200 kHz ≤ 100 kHz ≤ 50 kHz ≤ 25 kHz | ≤ 50 kHz ≤ 25 kHz ≤ 12.5 kHz | ≤ 25 kHz ≤ 12.5 kHz ≤ 6.25 kHz | |
邊緣分離A1） | – | ≥ 0.100 µs ≥ 0.220 µs ≥ 0.465 µs ≥ 0.950 µs | ≥ 0.100 µs ≥ 0.220 µs ≥ 0.465 µs ≥ 0.950 µs | ≥ 0.080 µs ≥ 0.175 µs ≥ 0.370 µs | ≥ 0.080 µs ≥ 0.175 µs ≥ 0.370 µs | |
橫移速度1） | ≤ 480 m/min | ≤ 480 m/min ≤ 240 m/min ≤ 120 m/min ≤ 60 m/min | ≤ 240 m/min ≤ 120 m/min ≤ 60 m/min ≤ 30 m/min | ≤ 60 m/min ≤ 30 m/min ≤ 15 m/min | ≤ 30 m/min ≤ 15 m/min ≤ 7.5 m/min | |
插值誤差 | ±45 nm | – | ||||
限位開關(guān) | 帶有兩個不同磁鐵的L1/L2；輸出信號：TTL（不帶線路驅(qū)動器） | |||||
電氣連接 | 電纜，0.5 m、1 m或3 m，帶15針D-Sub連接器（公） | |||||
電纜長度 | 見接口說明，但限制：≤20 m（帶海德漢電纜） | |||||
電壓供應(yīng) | DC 5 V ±0.5 V | |||||
電流消耗 | < 130 mA | < 150 mA (without load) | ||||
振動55赫茲至2000赫茲 沖擊6毫秒 | ≤ 500 m/s2 (EN 60 068-2-6) ≤ 1000 m/s2 (EN 60 068-2-27) | |||||
工作溫度 | –10 °C to 70 °C | |||||
質(zhì)量掃描頭 連接電纜 連接器 | 20 g (without cable) 22 g/m 32 g | |||||
*訂購時請選擇 1）在相應(yīng)的截止或掃描頻率下 Robax®是德國緬因州Schott Glaswerke的注冊商標(biāo)。 | ||||||
如有需要詳情，請見：heidenhain海德漢光柵尺LIDA403精度0.01 µm
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