光電掃描

大多數(shù)海德漢公司的光柵尺或編碼器都用 光電掃描原理。光電掃描測(cè)量基準(zhǔn)是非接 觸式掃描，因此無(wú)磨損。這種光電掃描方 法能檢測(cè)到非常細(xì)的線條，通常不超過(guò)幾 微米寬，而且能生成信號(hào)周期很小的輸出 信號(hào)。 測(cè)量基準(zhǔn)的柵距越小，光電掃描的衍射現(xiàn) 象越嚴(yán)重。海德漢角度編碼器采用兩種掃 描方法： • 成像掃描原理用于20 µm至40 µm的柵距 • 干涉掃描原理用于更小柵距的光柵， 例如，8 µm。

成像掃描原理

簡(jiǎn)單的說(shuō)，成像掃描原理是采用透射光生 成信號(hào)：兩個(gè)具有相同或相近柵距的測(cè)量 基準(zhǔn)和掃描掩模彼此相對(duì)運(yùn)動(dòng)。掃描掩膜 的基體是透明的，而作為測(cè)量基準(zhǔn)的光柵 可以是透明的也可以是反射的。 當(dāng)平行光穿過(guò)一個(gè)光柵時(shí)，在一定距離處 形成明/暗區(qū)。掃描光柵就位于該位置。當(dāng) 兩個(gè)光柵相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，穿過(guò)光柵的光得到 調(diào)制。如果狹縫對(duì)齊，則光線穿過(guò)。如果 一個(gè)光柵的刻線與另一個(gè)光柵的狹縫對(duì) 齊，光線無(wú)法通過(guò)。光電池組將這些光強(qiáng) 變化轉(zhuǎn)化成電信號(hào)。特殊結(jié)構(gòu)的掃描掩膜 將光強(qiáng)調(diào)制為近正弦輸出信號(hào)。 柵距越小，掃描掩膜和光柵尺帶間的間距 越小，公差越嚴(yán)。成像掃描的10 µm或更大 柵距的編碼器允許的編碼器安裝公差相對(duì) 較大。 例如，采用成像掃描原理的ERA系列角度 編碼器。

ERP4080海德漢角度編碼器帶圓光柵碼盤(pán)

ERP 4080/ERP 8080 高精度增量式角度編碼器

• 超高分辨率

• 帶讀數(shù)頭和圓光柵碼盤(pán)/輪轂總成

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